Automatisierungslösungen für die Halbleiterindustrie

Die Anforderungen in der Halbleiterfertigung werden immer komplexer: Immer kleinere Technologieknoten treffen auf steigende Anforderungen an die Leistung. Das innovative und breite Portfolio von Festo unterstützt Halbleiterhersteller bei der Bewältigung dieser Herausforderungen. Die hochmoderne Piezotechnologie von Festo ist die beste Lösung beim präzisen Regeln von Druck und Durchfluss der Inertgase und für eine minimierte Partikelbildung. Darüber hinaus spart der reduzierte Energie-, Gas- und Luftverbrauch Kosten. Bewegungen, die früher mit Pneumatik als unmöglich galten, lassen sich jetzt mit einer Kombination aus präzisen Druck- und Sensorfunktionen realisieren.