AutomationFür eine zuverlässige Wafer-Ausrichtung: Hiwin präsentiert neuen Wafer Aligner HPA
Ob im Standard-, Warpage- oder Edge Contact-Verfahren – die Wafer Aligner HPA richten unterschiedlichste Wafer mit einem Durchmesser von 2 Zoll bis hin zu 12 Zoll zuverlässig aus. Hiwin erweitert damit sein Produktportfolio um seine erste Standard-Bewegungslösung für das Wafer Handling in der Halbleiterfertigung.
Im Bild: Hiwin Wafer Aligner HPA
Ausgestattet mit einem hochwertigen Lasersensor, unterstützt der Wafer Aligner bei der Ausrichtung von transparenten, transluzenten und undurchsichtigen Wafern. Innerhalb weniger Sekunden arbeiten hierfür drei bewegte HIWIN-Achsen mit Spindelantrieb zur Waferzentrierung und Winkelausrichtung mit einer Genauigkeit von ±0,1 mm und Winkelgenauigkeit von ±0,2°. Je nach Aligner-Modell kommt hierfür eine X-Y-Einheit oder X-Z-Einheit zum Einsatz.
Kompakt gefertigt
Im All-in-One-Design aufgebaut, ist die HPA-Serie äußerst kompakt gefertigt und eignet sich damit auch für die Integration in anspruchsvolle Anlagenkonzepte. Auch punktet der Bewegungstechnik-Spezialist bei der Bereitstellung der neuen Wafer Aligner mit äußerst kurzen Lieferzeiten.
Optimal für Anwendungen in der Halbleiterindustrie einsetzbar, ist der Wafer Aligner der HPA-Serie durch seine ISO-Zertifizierung (ISO 14644-1) auch für die Reinraumklasse 3 geeignet.
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