Weißlicht-Interferometer zur Nanometer-Abstandsmessung

Anders als herkömmliche Interferometer ermöglicht das IMS5400-DS von Micro-Epsilon die stabile Messung von Profilen ohne Signalabriss. Dieses Video zeigt einen hochauflösenden XY-Scan eines Wafers. Dabei werden Höhenunterschiede von Absätzen, Stufen und Vertiefungen im Submikrometerbereich zuverlässig erfasst.