AutomationCoherent AVIA NX: UV-Laser-Sub-System im Hochleistungsbereich beschleunigt das Schneiden von Wafern und Verpackungen
Das neue Sub-System zum Laserschneiden von Coherent kombiniert einen Hochleistungs-UV-Laser und eine Präzisions-Scan-Optik, um einen schnellen Durchsatz und eine außergewöhnliche Schnittqualität bei der Bearbeitung von Wafern, SIPs und Leiterplatten zu erzielen. Das PowerLine AVIA NX kombiniert eine 40 Watt Laserquelle aus der Coherent AVIA®-Serie mit einem zweiachsigen Galvanometer-Deflektor, einem Strahlaufweiter und einer F-Theta-Scanlinse (mit einem Sichtfeld, das groß genug ist, um einen 300 mm-Wafer oder eine Leiterplatte abzudecken). Diese Kombination erzeugt kleine Fokusdurchmesser mit hoher Positioniergenauigkeit und Stabilität auf der Arbeitsoberfläche, um feine Strukturen und schmale Schnitte mit minimaler Wärmeeinflusszone zu erzeugen.
Coherent PowerLine AVIA NX UV Laser für beschleunigtes Schneiden von Wafern und Verpackungen.
Das PowerLine AVIA NX wurde für extreme Zuverlässigkeit und Langlebigkeit entwickelt und gebaut. Die AVIA NX-Laserstrahlquelle von Coherent basiert auf der umfangreichen Expertise des Unternehmens in der Herstellung von Hochleistungs-UV-Lasern mit außergewöhnlicher Lebensdauer. Im PowerLine-Sub-System sind die Strahlquelle und andere Systemkomponenten in einem abgeschlossenen Gehäuse untergebracht, welches gefilterte, rückgeführte Luft verwendet, um die Kontamination durch externe Quellen zu minimieren. Wartungsarbeiten können zumeist vor Ort durchgeführt werden, ohne eine Rücksendung des Gerätes an das Werk. Der modulare Aufbau vereinfacht eine Wartung, da jedes Bauteil des Sub-Systems für Service oder Austausch entfernt werden kann, ohne den Rest des Systems einer Kontamination auszusetzen.
Das PowerLine AVIA NX ist ein Laser-Sub-System der Klasse IV, das für die einfache Integration durch Systemhersteller entwickelt wurde. Darüber hinaus bietet Coherent umfangreiche Anwendungsunterstützung für Proof-of-Principle-Tests und die Entwicklung von Prozessrezepturen an. Nach der Inbetriebnahme können alle Systemparameter leicht variiert und auf spezifische Aufgaben zugeschnitten werden.
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