EVT Particle Inspector: Sauber und staubfrei

Für den Erhalt einer sauberen und staubfreien Umgebung, wie z. B. in Reinräumen, hat EVT den Particle Inspector entwickelt. Anwendung findet dieser in Produktionsbereichen wie z. B. der Mikroelektronik und Feinwerktechnik wie für Biowissenschaften oder Gesundheitspflege.

Wie alle Gegenstände in Reinräumen ist auch der Particle Inspector nach ISO 14644 klassifiziert und nach VDI 2083 geprüft. Mit dem Particle Inspector kann der Grad an Staub, mikroskopische Fasern, Kleinstlebewesen und andere Kontaminationsstoffe erkannt werden. Daher eignet sich der Inspector um in produktionskritischen Positionen in der Arbeitsumgebung, Messungen durchzuführen und Daten über Partikelverschmutzung zu sammeln. Der Verschmutzungsgrad und die Art der Verschmutzung ist essenziell für ein erfolgreiches Sauberkeitsmanagement.

Der Particle Inspector verfügt über eine Auflösung von 8 micron pro Pixel und eine Reproduzierbarkeit von 95 % für 20 Partikel. Der Messbereich erreicht bis zu 2.700 mm² je nach gereinigter Glasplatte (witness plate) bei einer Messgeschwindigkeit von bis zu 60 Sekunden. Die Bilder werden hernach digitalisiert um diese auf einen PC oder Laptop zu übertragen. Anschließend wird zum Analysieren und Verarbeiten der Bilddaten die EyeVision Software verwendet.

Erfasst wird per Partikel: die Länge und Breite, der Partikeltyp (Faser, Mikrobe, etc.), die Position des Partikels auf der Glasplatte, usw. Zusätzlich fängt der Particel Inspector auch Proben ein um diese zu analysieren und zu identifizieren. Messbereichsparameter sind außerdem P.A.C. (Percentage Area Covered) und P.D.C. (Percentage Deposition Class). Der Particle Inspector eignet sich für Reinräume und ist unabdingbar in der Halbleiterproduktion.

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