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Neuer industrietauglicher UV-Femtosekundenlaser für Präzisionsschnitte

: Coherent


Der neue Monaco UV-Femtosekundenlaser von Coherent verbindet industrielle 24/7-Zuverlässigkeit mit der Energie, Wiederholrate und der daraus resultierenden minimalen Wärmeeinflusszone (WEZ), die für das Präzisionsschneiden, Ritzen und Bohren von Halbleitermaterial mit hohem Durchsatz notwendig ist. Das macht diesen Laser zum idealen Werkzeug für das Schneiden von OLEDs, Wafern, dünnen Polymerfilmen und -folien, flexiblen Schaltungen und low-k Material.

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Coherent Monaco UV für Präzisionsschnitte .

Coherent Monaco UV für Präzisionsschnitte .

Während UV-Femtosekundenlaser (345 nm) bereits eine geringere WEZ als andere Ultrafast-Laser erzeugen, hat sich ihr Einsatz in der Industrie aufgrund der unzureichenden Zuverlässigkeit nur langsam durchgesetzt. Der Monaco UV profitiert im Gegensatz dazu von den strengen HALT/HASS Design-, Herstellungs- und Testprotokollen, die auch bei anderen hochzuverlässigen Ultrafast- und UV-Lasern des Unternehmens Anwendung finden. Er ist der erste UV-Femtosekundenlaser mit einem 3-fach geringeren Wärmeeintrag in das Material und mit der von Coherent bekannten industriellen Zuverlässigkeit.

Neben der äußerst hohen Zuverlässigkeit sind die Paramter des Coherent Monaco UV so optimiert (20 µJ / Puls bei 1,25 MHz), dass sie für einen Großteil der üblicherweise zu bearbeitenden Materialien bestens geeignet sind. Damit kann der Durchsatz bei gleichzeitig geringeren Kosten/W im Vergleich zu anderen Lasern optimiert werden. Der monolithisch aufgebaute Monaco ist darüber hinaus der zurzeit kompakteste industrielle Femtosekundenlaser (L x B x H = 963 x 358 x 175 mm), der am Markt erhältlich ist, was die Integration für Systemhersteller erleichtert. Der Monaco UV nutzt darüber hinaus das gleiche leistungsstarke Software-Interface wie die anderen Laser der Monaco-Familie. Das macht es einfach, dieses neue Familienmitglied in Systeme zu Integrieren.



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Laser

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