Faulhaber Horizontalofen Siliziumchips: Solarwafer-Produktion im Horizontalofen
Moderne Mikroelektronik und Photovoltaik „leben“ von beschichteten Siliziumchips. Für deren wirtschaftliche Herstellung werden aus Großeinheiten, den sogenannten Siliziumwafern, einzelne Transistoren, CPU-Chips und Solarzellen ausgeschnitten. Die hochreinen Siliziumwafer müssen dazu gezielt und sehr gut reproduzierbar mit unterschiedlichsten Substanzen dotiert oder beschichtet werden. Dazu sind spezielle Horizontalöfen im Einsatz, in denen die Bedingungen für die jeweilige Reaktion exakt eingehalten werden. Für die Ofenlogistik selbst, also das Be- und Entladen der Ofenröhren sowie das Öffnen oder Schließen der Ofentüren sind moderne Kleinstantriebe mit sehr guten Leistungswerten und großer Zuverlässigkeit sehr gut geeignet.